Power Semiconductor

功率半导体

 

精确控制载流子的寿命是有效的发挥功率半导体器件性能以满足日益增加的市场需求的一个关键因素。这个市场主要受控于逆变器和拓扑结构的转换器,这需要高性能晶闸管,IGBT和非常快的二极管。市场对降低通路状态损失,缩短关闭时间以及软回收的要求逐步增长促进了使用精密技术去改善现代器械设计的步伐。良好的软转换特性可以用辐照来完成,降低或排除在装配无菌室时使用不理想的重金属并根据产品的不同寿命时间提供精确的处理方法。

 

Isotron是唯一一家可以用电子束和离子束快速处理半导体产品的服务商。电子束和离子束混合使用可以使转换特性最优化。

 

用高压电子束加工能够对最少数的载流子寿命完全控制,使其在不同生产过程中达到更均匀更持久的效果。产品可以在托盘或箱子/盒子中处理,在无菌环境中完成包装。电子束处理能够提供有效的、独特的反向恢复柔软度设计,同时避免电流泄漏影响其它工艺,例如金或铂金的扩散。

 

离子束处理使用质子和氦子,能够精确地瞄准需要处理的区域,并能同时确保对局部的控制。这些离子与硅结构的原始的互动非常灵敏,可以使需要处理的区域界定在几微米之内。这就能使为达到要求的软转换特性而降低反向恢复程度成为可能同时又不需要改变正向电压降。离子束处理是一种真空处理所以晶片被单独置放在我们的ISO 7级标准的无菌室中以便微粒物质的控制。离子的种类有很多种,最常见的是质子和氦子。

 

电子剂量从0.05到1000kGy (.005 到 100 Mrad),质子和氦离子的剂量从1E9 到 1E13 离子/平方厘米。辐射在高度统一标准下执行,产品都在ISO7级标准的无菌室环境下操作。有时操作是要遵我们内部已通过BS EN ISO 9001认证的质量管理系统制定的程序。

 

 

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由辐照处理过的载流子寿命控制能够提高功率半导体器件性能。